반도체와 함께! Semiconductor

3.1 왜 실리콘인가? IC 구조와 제조공정을 이해하기 위해서는 현재 생산되고 있는 IC의 대 부분이 왜 실리콘 기판을 사용하여 제작되는지를 알 필요가 있다. 실리콘 재 료가 IC 시장을 지배하는 데에는 다음과 같은 여러 가지 이유들이 있다. 가장 중요한 이유는 우수한 실리콘 산화막(SiO2)이 존재한다는 점이 다. 실리콘을 산화성 가스 중에서 가열하면 산화되어 산화실리콘, 즉 산화막 이 된다. 이것은 석영이라는 아주 안정한 절연물으로 다른 반도체에는 존재하 지 않는 행운인 것이다. 이 실리콘 산화막은 반도체 소자 및 공정에서 아주 유용하게 사용되는 재료이다. 즉, 실리콘 산화물은 우수한 절연막으로서 소자 를 전기적으로 격리할 때 사용될 뿐만 아니라, IC 제작공정에 필요한 불순물 의 선택 확산을 위한 ..